為了(le)使蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)材料(liao)氣化，在真空(kong)蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)過程(cheng)中，大多數蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)材料(liao)都必(bi)須在1100~1750C溫度(du)下進行(xing)蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)，因此，必(bi)須采用(yong)各種(zhong)加熱(re)方法將蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)材料(liao)加熱(re)，通常把(ba)真空(kong)設備中對蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)材料(liao)進行(xing)加熱(re)的零件稱為蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)源(yuan)(yuan)。蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)鍍(du)膜的蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)源(yuan)(yuan)有多種(zhong)形式，如電(dian)阻(zu)加熱(re)源(yuan)(yuan)、電(dian)子東(dong)加熱(re)源(yuan)(yuan)、高頻(pin)感應加熱(re)源(yuan)(yuan)等，大面積玻(bo)璃基片蒸(zheng)(zheng)發(fa)(fa)鍍(du)膜常用(yong)電(dian)阻(zu)加熱(re)源(yuan)(yuan)。