1.安(an)裝(zhuang)鍍膜反(fan)應器處的玻(bo)璃溫(wen)(wen)(wen)度。溫(wen)(wen)(wen)度低(di)，膜層薄;溫(wen)(wen)(wen)度過高(gao)(gao)，沉積(ji)速率過慢，膜層稀(xi)疏，甚至(zhi)出現針孔或(huo)氣泡，溫(wen)(wen)(wen)度合(he)適時(shi)膜層質量最好。其原因是高(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)時(shi)沉積(ji)速率對溫(wen)(wen)(wen)度不敏感，而在溫(wen)(wen)(wen)度適當時(shi)，沉積(ji)速率大增;低(di)溫(wen)(wen)(wen)時(shi)，沉積(ji)速率又下(xia)降。

　　2.玻璃(li)的拉引速(su)度。玻璃(li)拉引速(su)度波動(dong)，會造成(cheng)膜層厚度的波動(dong)，使膜層薄(bo)厚不均(jun)。為此，玻璃(li)的拉引速(su)度要控制平(ping)穩。

　　3.反(fan)(fan)應(ying)(ying)副產物(wu)及(ji)未反(fan)(fan)應(ying)(ying)物(wu)要(yao)及(ji)時排(pai)出(chu)(chu)，但排(pai)出(chu)(chu)速(su)度(du)要(yao)合理。排(pai)出(chu)(chu)速(su)度(du)過大(da)，影響氣(qi)體物(wu)質在玻(bo)璃基片表面(mian)(mian)不能形成穩定的層(ceng)流，造成膜層(ceng)厚度(du)不均，甚至不能成膜;當排(pai)出(chu)(chu)速(su)度(du)過小或沒有及(ji)時排(pai)除，反(fan)(fan)應(ying)(ying)副產物(wu)及(ji)未反(fan)(fan)應(ying)(ying)物(wu)將分解生成顆粒(li)狀物(wu)質沉積在膜面(mian)(mian)上，造成瑕(xia)疵。

　　目前化學沉積法(fa)工業生(sheng)產(chan)(chan)的(de)產(chan)(chan)品(pin)，只(zhi)開發利用在(zai)浮(fu)法(fa)玻(bo)璃上(shang)覆蓋(gai)(gai)一(yi)層(ceng)牢(lao)固(gu)的(de)My物質膜層(ceng)，在(zai)理論上(shang)及技術(shu)上(shang)，在(zai)浮(fu)法(fa)玻(bo)璃上(shang)預先覆蓋(gai)(gai)一(yi)層(ceng)具有(you)某種功(gong)能(neng)的(de)膜層(ceng)，然后再(zai)覆蓋(gai)(gai)一(yi)層(ceng)My物質膜層(ceng)，這是完(wan)全(quan)可(ke)能(neng)的(de)，這樣(yang)，化學沉積法(fa)就可(ke)生(sheng)產(chan)(chan)出(chu)品(pin)種多樣(yang)、性能(neng)獨特、功(gong)能(neng)各異的(de)新(xin)穎(ying)產(chan)(chan)品(pin)，前景廣闊。