在(zai)室溫(wen)高(gao)真空(kong)條件下，局部壓力對解(jie)吸(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)影響是可(ke)以忽略的(de)(de)(de)(de)，解(jie)吸(xi)(xi)是由(you)(you)加(jia)熱產生的(de)(de)(de)(de)。加(jia)熱玻璃表(biao)(biao)(biao)面促使吸(xi)(xi)附的(de)(de)(de)(de)水分(fen)子(zi)(zi)(zi)和各種碳氫化合物分(fen)子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)解(jie)吸(xi)(xi)作(zuo)(zuo)用有不同程度(du)的(de)(de)(de)(de)增加(jia)，這(zhe)與溫(wen)度(du)有關。外加(jia)溫(wen)度(du)在(zai)100~850C，需要加(jia)熱的(de)(de)(de)(de)時(shi)間(jian)在(zai)10~60min。在(zai)超高(gao)真空(kong)下，為了得(de)到原(yuan)子(zi)(zi)(zi)級清(qing)潔表(biao)(biao)(biao)面，加(jia)熱溫(wen)度(du)必須高(gao)于450C才行。對于較高(gao)溫(wen)度(du)襯底上淀積膜(制備特殊性質的(de)(de)(de)(de)膜)的(de)(de)(de)(de)情形(xing)，加(jia)熱清(qing)洗(xi)特別有效(xiao)。但(dan)是由(you)(you)于加(jia)熱的(de)(de)(de)(de)結果，也就(jiu)會發(fa)生某(mou)些碳氫化合物聚合成較大的(de)(de)(de)(de)團粒，并同時(shi)分(fen)解(jie)成炭渣。然而(er)高(gao)溫(wen)火(huo)焰(yan)處(chu)理(li)(如氫空(kong)氣火(huo)焰(yan))效(xiao)果很(hen)好，雖然這(zhe)個過程中(zhong)(zhong)表(biao)(biao)(biao)面溫(wen)度(du)僅約100°C，火(huo)焰(yan)中(zhong)(zhong)存在(zai)著各種離子(zi)(zi)(zi)、雜質及(ji)高(gao)熱能分(fen)子(zi)(zi)(zi)。一般認為， 火(huo)焰(yan)的(de)(de)(de)(de)清(qing)潔作(zuo)(zuo)用與一種輝光(guang)放電(dian)作(zuo)(zuo)用相類似，在(zai)輝光(guang)放電(dian)中(zhong)(zhong)，離子(zi)(zi)(zi)化的(de)(de)(de)(de)高(gao)能粒子(zi)(zi)(zi)撞(zhuang)擊(ji)(ji)待(dai)清(qing)潔表(biao)(biao)(biao)面。粒子(zi)(zi)(zi)轟擊(ji)(ji)和表(biao)(biao)(biao)面上離子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)復合將釋放熱量，也有助(zhu)于解(jie)吸(xi)(xi)污物分(fen)子(zi)(zi)(zi)。