為了使(shi)蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)材(cai)(cai)料(liao)氣化，在真(zhen)空蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)過(guo)程中，大多數據發(fa)材(cai)(cai)料(liao)都必須在10001750C溫度下進(jin)(jin)行(xing)蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)，因此，必須采用(yong)各(ge)種(zhong)加(jia)熱(re)(re)方法(fa)將蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)材(cai)(cai)料(liao)加(jia)熱(re)(re)，通常(chang)把真(zhen)空設備中對蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)材(cai)(cai)料(liao)進(jin)(jin)行(xing)加(jia)熱(re)(re)的(de)零件稱為蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)源。蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)鍍膜(mo)的(de)蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)源有(you)多種(zhong)形式，如電阻加(jia)熱(re)(re)源、電子(zi)束(shu)加(jia)熱(re)(re)源、高頻(pin)感應加(jia)熱(re)(re)源等，大面積玻璃基片蒸(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)發(fa)鍍膜(mo)常(chang)用(yong)電阻加(jia)熱(re)(re)源。

　　1電(dian)阻蒸發源蒸鍍法

　　采(cai)用租(zu)、鉬、鎢等(deng)高(gao)熔點金(jin)屬，做成適當形狀的蒸(zheng)發源，其(qi)上裝入待蒸(zheng)發材(cai)料(liao)，讓氣流通過，對蒸(zheng)發材(cai)料(liao)進行直接(jie)加(jia)熱蒸(zheng)發，或者把待蒸(zheng)發材(cai)料(liao)放人氧化鋁，氧化鈹等(deng)坩堝中進行間接(jie)加(jia)熱蒸(zheng)發，這就是電阻加(jia)熱蒸(zheng)發法(fa)。

　　(1)電阻加熱源(yuan)

　　電阻加(jia)熱(re)(re)(re)源(yuan)是(shi)用(yong)高阻抗材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)構(gou)成，當電流通過(guo)加(jia)熱(re)(re)(re)源(yuan)時產生大量(liang)的(de)熱(re)(re)(re)能(neng)，用(yong)此熱(re)(re)(re)量(liang)來加(jia)熱(re)(re)(re)蒸(zheng)發(fa)(fa)材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)。加(jia)熱(re)(re)(re)源(yuan)是(shi)加(jia)熱(re)(re)(re)體和支(zhi)撐蒸(zheng)發(fa)(fa)材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)的(de)支(zhi)承物(wu)，形狀(zhuang)有單股絲(si)狀(zhuang)螺(luo)旋形、多股絲(si)狀(zhuang)螺(luo)旋形、“凹(ao)"形舟(zhou)、方形舟(zhou)、圓錐形單股絲(si)等，它(ta)們是(shi)直接加(jia)熱(re)(re)(re)蒸(zheng)發(fa)(fa)源(yuan)。間接加(jia)熱(re)(re)(re)蒸(zheng)發(fa)(fa)源(yuan)由坩(gan)堝(guo)和加(jia)熱(re)(re)(re)體組(zu)成，將粉(fen)(fen)狀(zhuang)蒸(zheng)發(fa)(fa)材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)放人坩(gan)堝(guo)中(zhong)，加(jia)熱(re)(re)(re)體裝在坩(gan)堝(guo)外(wai)面，用(yong)加(jia)熱(re)(re)(re)體加(jia)熱(re)(re)(re)坩(gan)堝(guo)而間接加(jia)熱(re)(re)(re)粉(fen)(fen)狀(zhuang)蒸(zheng)發(fa)(fa)材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)。為了(le)加(jia)速(su)加(jia)熱(re)(re)(re)粉(fen)(fen)狀(zhuang)蒸(zheng)發(fa)(fa)材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)及提高加(jia)熱(re)(re)(re)效率(lv)，將加(jia)熱(re)(re)(re)體分(fen)成兩部(bu)分(fen)，一部(bu)分(fen)裝在坩(gan)堝(guo)外(wai)面，另(ling)一部(bu)分(fen)插人粉(fen)(fen)狀(zhuang)蒸(zheng)發(fa)(fa)材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)中(zhong)，共同(tong)加(jia)熱(re)(re)(re)粉(fen)(fen)狀(zhuang)蒸(zheng)發(fa)(fa)材(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)，此種類型(xing)則是(shi)綜合(he)型(xing)加(jia)熱(re)(re)(re)蒸(zheng)發(fa)(fa)源(yuan)。電阻蒸(zheng)發(fa)(fa)源(yuan)形狀(zhuang)示意圖如圖4-10所示。